[login] 基本步骤 ---- 先检查腔室真空度,如果是10的-5次方,-6次方来回跳,说明漏气。 腔室真空度稳定后,表明不漏气,然后打开下面4个小阀门,排出管道内残留的气体 打开后,等真空度到10的-6次方,设置氧气氩气的流量各30(会逐步减小至0),冲刷管道后,关闭4个小阀门,等待5分钟后再打开,看真空度变不变,以检查管道的气密性。 然后开始烧靶,相关参数为: 腔室真空度约为4.85E-4次方。腔室温度约为140°,转速为280rpm. 基底挡板关闭,左右通氩气和氧气分别为氩气65,氧气30。机械泵接扩散泵,扩散泵温度为260°C左右。主管道真空度约为6.26E-2 ![烧靶面板情况][1] 注意点 --- 看辉光是否闪烁 如果闪烁 1.考虑电压太小,可以适当减小氧气流量大约为31~29左右,减小氧气流量,电压会自动升高。 2.导通时间不合适,一般是80% 3.腔室内气体分布不均匀,一般不大可能 看面板信息 1.注意进出水温度,不能超过23℃ 2.腔室内真空度 3.电压情况 详细信息都在机器的日志当中 [/login] [1]: https://hittlrw.top/usr/uploads/2026/07/3669965921.png AI摘要 : 本文介绍了烧靶操作的基本步骤和注意事项,包括检查真空度、设置气体流量、调节参数以及监控辉光闪烁与面板信息。 “此内容根据文章生成,仅用于文章内容的解释与总结“ 该部分仅登录用户可见 最后修改:2026 年 07 月 09 日 © 允许规范转载 END 本文作者: 富强 文章标题:烧靶 本文地址:https://hittlrw.top/index.php/archives/619/ 版权说明:本文皆富强's blog原创,转载请保留文章出处。 打赏 赞赏作者 支付宝微信 赞 如果觉得我的文章对你有用,那就,点个赞呗😁